纯水所指的纯水又称纯净水，是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水。保定康达水业介绍通过电渗析法、离子交换法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水。市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水。

超纯水是在高纯水的基础上进一步将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ.cm，或接近18.25MΩ.cm极限值。超纯水是一般工艺很难达到的程度，可以将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、EDI连续电除盐技术，离子交换技术的两种及以上的技术，通过合理的工艺设计，设备选型，方可制造出超纯水。

纯水和超纯水一般都没有统一的标准。一般意义上讲纯水至少应该是去离子水，即水中大部分阴阳离子是应该被去除的。超纯水处理是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm(25℃)。

超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中，用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

纯水又称去离子水，是指市政自来水通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水，也可以称为纯净物，在试验中使用较多，又因是以蒸馏等方法制作，故又称蒸馏水。